用于石墨、半導(dǎo)體器件、耐熱沖刷材料的表面熱解石墨涂層或生長(zhǎng)。
用于氮化硼的化學(xué)氣相涂層與生長(zhǎng)
碳化硅外延生長(zhǎng)爐主要用于石墨盤(pán)或碳化盤(pán)的碳化硅外延生長(zhǎng)制備
用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的石墨或陶瓷表面的碳化硅化學(xué)氣相涂層。