用于石墨、半導體器件、耐熱沖刷材料的表面熱解石墨涂層或生長。
用于氮化硼的化學氣相涂層與生長
碳化硅外延生長爐主要用于石墨盤或碳化盤的碳化硅外延生長制備
用于半導體領(lǐng)域的石墨或陶瓷表面的碳化硅化學氣相涂層。